ConFlat法兰紧固方法和注意事项
选择合适的垫片,对于需要高温烘烤的超高真空应用,强烈建议采用镀银垫片。
对于烘烤温度超过 200°C 的应用,建议使用镀银螺栓(银充当润滑剂),或者在螺纹处涂抹高温润滑剂,以防止螺纹损坏或咬死。
在处理和安装 ConFlat 法兰时,建议在组装过程中使用无尘手套。手上的汗渍、油渍等残留物,哪怕是最轻微的指纹,都会影响抽真空的效率。
仔细检查法兰刀口处是否有缺口、划痕,然后将垫片放在法兰的凹槽中,确保垫片正确就位。如果法兰面是竖直的,可以使用下面的辅助工具,避免安装时垫片掉落或错位。
先用手将所有螺栓分别拧上,然后按照交叉拧紧的原则,将螺栓每次拧紧 1/4 到 1/2 圈,直至适当的扭矩值或两个法兰平面互相接触。
高真空和超高真空设备通常都是精密仪器设备,对设备上的各个零件的位置都有很高的要求,所以会引起一些局部的零件比较集中,或者位置比较特殊缺少扳手空间,这些地方可以使用如下的板螺母(Plate nuts)替代普通螺母。
烘烤时注意温度控制,金属垫片在垫片变形的过程中,会产生加工硬化,这使得垫片会产生一定的“弹性”,在温度剧烈变化时仍然能保持密封。有证据表明,长时间烘烤至 550°C 会使铜从其加工硬化状态部分退火而失去弹性,导致法兰在冷却时发生泄漏。