常用CF法兰的型号和尺寸介绍
CF法兰,全称Conflat Flange,是一种可拆卸的,能承受高温烘烤的金属静密封法兰,通常用于高真空和超高真空设备。
CF法兰的直径尺寸包括:16、40、63、100、160、200、250等。适用的真空度高达10-12mbar。
CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。
法兰的内侧有凸起的锋利刀口,通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的,是全金属材料的密封方式,被广泛应用于超高真空系统中。
CF法兰的特点是不分雌雄,包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成,因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。其缺点是价格高,无氧铜垫圈不能多次重复使用。
CF法兰安装
CF法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形,所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀,会使对角位置的法兰翘起,以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下:M4螺栓20 kgf·cm,M6螺栓70 kgf·cm,M8螺栓100 kgf·cm。
使用注意事项
CF法兰使用时有几个注意点:螺栓一定要涂抹MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法兰外周要对齐;法兰面要保持一点距离,为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。
CF法兰中,刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用,刀口会逐渐变钝。另外,受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一,是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口,而依靠刀口外周的斜面来密封。